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  • 超高精度CNC三坐标测量机MICROCORD LEGEX系列

超高精度CNC三坐标测量机MICROCORD LEGEX系列

高精度水平

固定桥结构和精密空气轴承

位置检测功能

配有温度补偿功能

提供丰富的选件

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产品特点 product feature

  • 超高精度CNC三坐标测量机MICROCORD-LEGEX系列
  • 高精度水平 LEGEX 系列为超高精度CNC三坐标测量机,具有高精度水平,对所有可能产生误差的因素进行严格分析并消除或大程度地降低其影响。 固定桥结构和精密空气轴承 固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和超高几何精度。采用 FEM 结构分析模拟的彻底测试保证了几何运动精度,使负荷及其它变量波动造成的误差降低。另外,其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中,实现了高精度。 位置检测功能 配备有三丰超高精度标尺、热膨胀系数几乎为零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型线性编码器。为其性能提供了很好的位置检测功能。 配有温度补偿功能 LEGEX 高精度系列三坐标测量机配有温度补偿功能,因此设置环境不需要恒温控制室,就可以在 18-22ºC 的温度范围内保证主机精度。 提供丰富的选件 提供丰富的选件,包括触发式和非触发式测头,数据处理部等支持超高精度测量,如要求高尺寸精度的齿轮、轴承、透镜、硬模或滚动转子。

产品规格 product detail

项目/型号 LEGEX 574  LEGEX 774  LEGEX 776  LEGEX 9106
测量范围 x轴 500mm 700mm 700mm 900mm
y轴 700mm 700mm 700mm 1000mm
z轴 450mm 450mm 600mm 600mm
测量方法 超高精度线性编码器
最大测量速度 200mm/s
最大加速度 980mm/s 2
分辨力 0.00001mm
精度( JIS B7440-2 ) * 1
( 2013 
E 0, MPE
[L: 测量长度 ( mm ) 
( 0.28+L/1000 ) µm ( 19 ~ 21ºC )
( 0.3+L/1000 ) µm ( 18 ~ 22ºC )
P FTU, MPE  0.4µm
MPE THP  1.1µm  ( 60S )
导向系统 各轴均采用气浮轴承
工作台 材料 铸铁 * 2
尺寸 550 × 750mm  750 × 750mm  750 × 750mm  950 × 1050mm
紧固用螺钉孔 M8x1.25mm  ( 工件固定用 )
最大测量高度 706mm 696mm  867mm  861mm
最大负载 200kg  500kg  500kg  800kg 
重量 3900kg 5000kg 5100kg 6500kg
空气供给 气压 0.4MPa* 3 
消耗量 120L/min* 5 ( 正常情况下)
*1  使用测头 : MPP310Q 。
温度变化 : 0.5ºC/h,  温度梯度 : 1ºC/h 。
*2   也可选择陶瓷涂层。
*3   需要 0.5MPa-0.9MPa 气压。
*4   需要 0.55MPa-0.9MPa 气压。
*5   需要 160L/min 以上气压。

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