0512-5523-281813913288702
•高精度水平
•固定桥结构和精密空气轴承
•位置检测功能
•配有温度补偿功能
•提供丰富的选件
0512-5523-2818
项目/型号 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | |
测量范围 | x轴 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm |
y轴 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | |
z轴 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | |
测量方法 | 超高精度线性编码器 | ||||
最大测量速度 | 200mm/s | ||||
最大加速度 | 980mm/s 2 | ||||
分辨力 | 0.00001mm | ||||
精度( JIS B7440-2 ) * 1 ( 2013 |
E 0, MPE [L: 测量长度 ( mm ) |
( 0.28+L/1000 ) µm ( 19 ~ 21ºC ) ( 0.3+L/1000 ) µm ( 18 ~ 22ºC ) |
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P FTU, MPE | 0.4µm | ||||
MPE THP | 1.1µm ( 60S ) | ||||
导向系统 | 各轴均采用气浮轴承 | ||||
工作台 | 材料 | 铸铁 * 2 | |||
尺寸 | 550 × 750mm | 750 × 750mm | 750 × 750mm | 950 × 1050mm | |
紧固用螺钉孔 | M8x1.25mm ( 工件固定用 ) | ||||
最大测量高度 | 706mm | 696mm | 867mm | 861mm | |
最大负载 | 200kg | 500kg | 500kg | 800kg | |
重量 | 3900kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | |
空气供给 | 气压 | 0.4MPa* 3 | |||
消耗量 | 120L/min* 5 ( 正常情况下) | ||||
*1 使用测头 : MPP310Q 。 温度变化 : 0.5ºC/h, 温度梯度 : 1ºC/h 。 *2 也可选择陶瓷涂层。 *3 需要 0.5MPa-0.9MPa 气压。 *4 需要 0.55MPa-0.9MPa 气压。 *5 需要 160L/min 以上气压。 |
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